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无尘室内的空调系统为供应适当温湿度与洁净度达到一定要求之新鲜空气至无尘室，使其符合制程所需空气处理系统，用于调节无尘室湿度和补偿新风
无尘室空调系统由以下几部分组成：
风管系统
1）以风管输送洁净空气
2）循环空调箱兼处理外气
ffu系统
1）天花空间为微负压气式
2）独立设置外气空调箱
轮轴风机系统
1）天花空间为正压气室
2）独立设置外气空调箱
系统主要设备：
1、无纺布板式过滤器:将外气进行处理过滤掉较大的微粒
2、预热盘管:在冬季，将相对温湿度较低的外气进行加热，以便吸收更多的水分，以便加湿
3、加湿器：当外气湿度过低，加热器激活将外气加湿至系统所设定的露点温度
4、冷却盘管：当外气温度过高，冷却盘管将外气冷却至系统所设定的露点温度
5、加热盘管:将外气加热至系统所设定出口温度
6、风车：由马达带动并以变频器依系统设定送风压力来自动控制电机风车转速
7、袋式过滤器：过滤掉外气中更小的微粒
8、hepa滤网：将mau处理过的外气在送进无尘室之前做后一次过滤，将空气中更小的微粒过滤，以确保c/r的洁净度
9、自动风门：根据系统所设定的无尘室压差自动调节mau出口风门开度
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